Інноваційні мікроелектронні технології для експериментів у фізиці високих енергій

Запропоновано нові підходи до створення інноваційних конструктивно-технологічних рішень і технологій виготовлення удосконалених тонких піксельних матричних детекторних модулів на основі КМОП монолітних активних піксельних сенсорів високої роздільної здатності та гнучких безадгезивных алюміній-поліімідних комутаційних плат і шлейфів для експериментів у фізиці високих енергій.

Повна версія статті